หน่วยวิจัยพลาสมาสำหรับวิทยาศาสตร์พื้นผิว ซึ่งตั้งอยู่ที่ภาควิชาฟิสิกส์ คณะวิทยาศาสตร์  มหาวิทยาลัยบูรพา ได้ทำการวิจัยและ พัฒนาเทคโนโลยีการเคลือบผิวด้วยกระบวนการพลาสมาใน 4 กลุ่มหลักคือ

1.    กลุ่มการเคลือบแข็ง (hard coating) เป็นการปรับปรุงสมบัติเชิงกลและไตรโบโลยี

    พื้นผิววัสดุเพื่อเพิ่มความแข็งและความทนทานเพื่อยืดอายุการใช้งาน เช่น การ

    เคลือบ TiAlN บนดอกสว่านเพื่อยืดอายุการใช้งาน

2.  กลุ่มการเคลือบเพื่อสวยงาม  (decorative  coating) เป็นการปรับปรุงสมบัติเชิงผิวของชิ้นงานให้มีความสวยงาม เช่น การเคลือบ TiN ที่มีสีทองสวยงามบนชิ้นงานประเภทต่างๆ

3.  กลุ่มการเคลือบฟิล์มบางแสง (optical  coating) เป็นการปรับปรุงสมบัติทางแสงของชิ้นงานให้มีคุณสมบัติตามต้องการ เช่น การเคลือบกันสะท้อน (anti  reflected)

4.  กลุ่มการเคลือบฟิล์มบางที่มีสมบัติเฉพาะ (functional  coating) เป็นการปรับปรุงสมบัติเชิงผิวของวัสดุให้มีสมบัติเฉพาะตามต้องการ เช่น hydrophilic (ชอบน้ำ) หรือ hydrophobic (ไม่ชอบน้ำ)  เป็นต้น

 คำอธิบายโดยหน่วยวิจัยพลาสมาสำหรับวิทยาศาสตร์พื้นผิว  ศูนย์วิจัยทางฟิสิกส์ของลำอนุภาคและพลาสมา  ศูนย์ความเป็นเลิศด้านฟิสิกส์