เครื่องไอออนอิมพลานเตอร์แบบกะทัดรัดแนวตั้ง

เครื่องไอออนอิมพลานเตอร์แบบกะทัดรัดแนวตั้ง เป็นอุปกรณ์ที่ออกแบบมาเพื่อเร่งความเร็วของไอออน โดยเพิ่มพลังงานให้ไอออนก่อนนำไปชนเข้ากับเป้าหมายในกระบวนการที่เรียกว่า การเคลือบฝังไอออน (Ion Implantation) ซึ่งเป็นเทคนิคสำคัญในงานวิจัยและการพัฒนาวัสดุโดยกระบวนการนี้ ทำหน้าที่เปลี่ยนแปลงหรือปรับปรุงสมบัติพื้นผิวของวัสดุอย่างมีประสิทธิภาพ เช่น การเพิ่มความแข็งแรงทนต่อการสึกกร่อน การเปลี่ยนแปลงคุณสมบัติทางไฟฟ้าของวัสดุ หรือ การประยุกต์ใช้ลำไอออนพลังงานต่ำ ชักนำให้เกิดการกลายพันธุ์ในพืช ด้วยการออกแบบตัวเครื่องให้มีขนาดกะทัดรัดและรองรับการทำงานในช่วงพลังงานตั้งแต่ 15 ถึง 70 กิโลอิเล็กตรอนโวลต์ เครื่องนี้เหมาะสำหรับการใช้งานในงานวิจัยด้านลำไอออนต่ำ

ข้อควรทราบในการขอใช้บริการ ไอออนอิมพลานเตอร์แบบกะทัดรัดแนวตั้ง

1. วัสดุฐานชิ้นงานติดตั้งตัวอย่าง (Sample Holder) เลือกใช้ทองแดง เนื่องจากมีสามารถระบายความร้อนได้ดี ช่วยลดความร้อนสะสมจากกระบวนการฝังไอออน (Ion Implantation) ป้องกันความเสียหายของตัวอย่าง นอกจากนี้ ทองแดงยังมีแนวโน้มต่ำที่จะเกิดปฏิกิริยากับไอออนหรือวัสดุอื่น ๆ ในกระบวนการเนื่องจากความเสถียรของชั้นออกไซด์
2. พื้นที่ติดตั้งตัวอย่างบน ชิ้นงานฐานติดตั้งตัวอย่าง (Sample Holder) มีขนาดมาตรฐาน 9 x 9 cm และความหนา 1 cm สำหรับกระบวนการเคลือบฝังลำไอออน พื้นที่ที่ถูกเคลือบฝังจะมีลักษณะเป็นวงกลม เส้นผ่านศูนย์กลาง 7 cm
3. เมื่อใช้งานกับเมล็ดพืช อาจมีการปรับแต่ง ชิ้นงานฐานติดตั้งตัวอย่าง ให้มีช่องเฉพาะที่เหมาะสมกับตัวอย่าง เนื่องจากเมล็ดแต่ละชนิดมีขนาดและตำแหน่งที่ต้องการรับการยิงลำไอออนแตกต่างกัน ทั้งนี้ ผู้ใช้บริการสามารถแจ้งลักษณะการวางตัวอย่างหรือเป้าหมายการระดมยิงที่ต้องการ เพื่อให้เจ้าหน้าที่สามารถให้คำแนะนำและออกแบบชิ้นงานฐานติดตั้งตัวอย่างให้เหมาะสมโดยเฉพาะ ซึ่งจะช่วยเพิ่มประสิทธิภาพของกระบวนการเคลือบฝังไอออน และให้ผลลัพธ์ที่แม่นยำตรงตามความต้องการของแต่ละเมล็ดพันธุ์มากยิ่งขึ้น

ขั้นตอนการเข้ารับบริการใช้งานเครื่องไอออนอิมพลานเตอร์

1. แจ้งลักษณะตัวอย่างและให้คำปรึกษาในกระบวนการเคลือบฝังไอออน

• ผู้ขอใช้บริการสามารถแจ้งข้อมูลเกี่ยวกับลักษณะตัวอย่างที่ต้องการใช้งาน เช่น ขนาด รูปทรง ลักษณะการวาง และ ตำแหน่งที่ต้องการระดมยิงลำไอออนเพื่อให้เจ้าหน้าที่สามารถให้คำแนะนำในการออกแบบชิ้นงานฐานติดตั้งตัวอย่าง (Sample Holder) ได้เหมาะสมกับความต้องการ
• เจ้าหน้าที่จะให้คำแนะนำเกี่ยวกับปริมาณไอออนที่เหมาะสม (Ion Dose) และ ค่าพลังงานที่ต้องใช้ (Ion Energy) ตามลักษณะของตัวอย่างและวัตถุประสงค์ของการใช้งาน

   2. ทดลองตัวอย่างในกระบวนการสุญญากาศ

• เจ้าหน้าที่จะทำการทดสอบตัวอย่างในสภาวะสุญญากาศ การทดลองนี้ช่วยตรวจสอบปัญหาที่อาจเกิดขึ้น เช่น ลักษณะการยึดเกาะตัวอย่างบนฐานติดตั้งตัวอย่าง (Sample Holder) และ ปัญหาอื่นๆที่อาจพบกับตัวอย่างภายใต้ความดันสุญญากาศ เพื่อให้มั่นใจว่าตัวอย่างเหมาะสมสำหรับการเข้าสู่การให้บริการเคลือบฝังไอออนเต็มรูปแบบ

ข้อควรระวัง

• ควรหลีกเลี่ยงการสัมผัสตัวอย่างด้วยมือเปล่าเพื่อป้องกันการปนเปื้อน
• ควรหลีกเลี่ยงการให้ตัวอย่างอยู่ในสภาวะความชื้นสูงระหว่างการเตรียมตัวอย่าง

ตัวอย่างที่ไม่สามารถรับการเคลือบฝังไอออนได้

• ตัวอย่างที่มีความเปราะบางสูง และไม่สามารถทนต่อพลังงานของลำไอออนได้
• วัสดุที่มีการระเหยง่าย หรือมีองค์ประกอบที่ทำปฏิกิริยากับไอออนจนส่งผลกระทบต่อกระบวนการ
• วัสดุที่มีความชื้นสูง วัสดุที่มีความชื้นสูงอาจส่งผลต่อการทำสุญญากาศของเครื่องเร่งอนุภาค
• วัสดุที่มีโครงสร้างไม่เหมาะสมต่อการยึดติด เช่น ผง เศษเส้นใย หรือ สารที่มีขนาดเล็กเกินไป

อัตราค่าบริการเครื่องไอออนอิมพลานเตอร์แบบกะทัดรัดแนวตั้ง

ใบขอรับบริการ เครื่องไอออนอิมพลานเตอร์แบบกะทัดรัดแนวตั้ง Download ที่นี่

ระบบจองคิวขอรับบริการ เครื่องไอออนอิมพลานเตอร์แบบกะทัดรัดแนวตั้ง <<ที่นี่>>

ข้อมูลการติดต่อเจ้าหน้าที่เทคนิคของเครื่อง

1. ผศ. ดร.อุดมรัตน์ ทิพวรรณ
   Email : udomrat.t@cmu.ac.th
2. Rungroj Rungrat
   Email : rungroj@thep-center.org

ที่อยู่: อาคารเทคโนโลยีไอออนบีม 2 ภาควิชาฟิสิกส์และวัสดุศาสตร์ มหาวิทยาลัยเชียงใหม่ ถ.ห้วยแก้ว ต.สุเทพ อ.เมือง จ.เชียงใหม่ 50202