Vertical compact ion implanter

(Vertical compact ion implanter)

อุปกรณ์เร่งไอออนขนาดกะทัดรัดนี้ ถูกออกแบบมาเพื่อเพิ่มพลังงานให้อนุภาคไอออน ก่อนยิงเข้าสู่เป้าหมายในกระบวนการที่เรียกว่า การเคลือบฝังไอออน (Ion Implantation) ซึ่งเป็นเทคนิคสำคัญในการ ปรับปรุงคุณสมบัติของวัสดุ อย่างมีประสิทธิภาพ

                ✅ เพิ่มความแข็งแรงและทนต่อการสึกกร่อน
                ✅ ปรับเปลี่ยนคุณสมบัติทางไฟฟ้าหรือเคมี
                ✅ ประยุกต์ใช้ในงานชีวภาพ เช่น การชักนำการกลายพันธุ์ในพืช

เครื่องสามารถทำงานในช่วงพลังงาน 15–40 keV มีขนาดกะทัดรัด ใช้งานง่าย และเหมาะสำหรับงานวิจัยที่ต้องการ ลำไอออนพลังงานต่ำที่มีความแม่นยำและเสถียรสูง

ข้อควรทราบในการขอใช้บริการ

เครื่องไอออนอิมพลานเตอร์แบบกะทัดรัดแนวตั้ง

วัสดุของชิ้นงานติดตั้งตัวอย่าง (Sample Holder)
ใช้ ทองแดง (Copper) เป็นวัสดุหลัก เนื่องจากมีคุณสมบัติในการระบายความร้อนดีเยี่ยม ช่วยลดความร้อนสะสมจากกระบวนการฝังไอออน และป้องกันความเสียหายที่อาจเกิดกับตัวอย่าง
นอกจากนี้ ทองแดงยังมีความเสถียรสูงและไม่เกิดปฏิกิริยากับไอออนหรือวัสดุอื่น ๆ ในระหว่างการทดลอง

📏 ขนาดและพื้นที่ใช้งาน

                ✅ขนาดของ Sample Holder: 11 × 12 cm, หนา 1 cm
                ✅พื้นที่ฝังไอออน: เป็นรูปวงกลม เส้นผ่านศูนย์กลาง 9 cm

ภาพตัวอย่างการกระจายตัวของลำไอออนบนแผ่นกระดาษ

🌱 การใช้งานกับเมล็ดพืช

หากต้องการยิงลำไอออนบนเมล็ดพืชโดยเฉพาะสามารถปรับแต่ง Sample Holder ให้เหมาะกับขนาดและตำแหน่งการวางของเมล็ดพันธุ์แต่ละชนิด ได้
โดยผู้ใช้บริการสามารถแจ้งรายละเอียด เช่น ตำแหน่งที่ต้องการยิงหรือรูปแบบการวางตัวอย่าง เพื่อให้เจ้าหน้าที่ช่วยออกแบบและแนะนำการติดตั้งที่เหมาะสมที่สุด

                ✅ การแจ้งความต้องการล่วงหน้า จะช่วยให้การฝังไอออนมี ประสิทธิภาพสูงสุด, ได้ผลลัพธ์ แม่นยำ และตรงกับ วัตถุประสงค์ของแต่ละโครงการวิจัย

📌 ขั้นตอนการเข้ารับบริการ

เครื่องไอออนอิมพลานเตอร์แบบกะทัดรัดแนวตั้ง

🔍1. แจ้งลักษณะตัวอย่างและรับคำปรึกษาเบื้องต้น

ผู้ขอใช้บริการสามารถแจ้งข้อมูลเกี่ยวกับตัวอย่างที่ต้องการใช้งาน เช่น

• ขนาด
  
• รูปทรง
  
• วิธีการวางตัวอย่างบนฐานติดตั้ง
  
• ตำแหน่งที่ต้องการยิงลำไอออน

เพื่อให้เจ้าหน้าที่สามารถ ออกแบบชิ้นงานฐานติดตั้ง (Sample Holder) ได้อย่างเหมาะสมกับเป้าหมายการทดลอง

จากข้อมูลที่ได้รับ เจ้าหน้าที่จะให้คำแนะนำเพิ่มเติมเกี่ยวกับ:

• ปริมาณไอออนที่เหมาะสม (Ion Dose)
  
• พลังงานของลำไอออนที่ควรใช้ (Ion Energy)
  โดยอ้างอิงจากลักษณะของตัวอย่างและวัตถุประสงค์ของการทดลอง

🔍 2. ทดสอบตัวอย่างในสภาวะสุญญากาศ

ก่อนเริ่มกระบวนการฝังไอออนจริง เจ้าหน้าที่จะทำการ ทดสอบตัวอย่างในห้องสุญญากาศ เพื่อประเมินความพร้อม เช่น

• การยึดติดของตัวอย่างกับ Sample Holder
• ความเสถียรของตัวอย่างในสภาวะความดันต่ำ
• ความเป็นไปได้ของปัญหาที่อาจเกิดขึ้น

ขั้นตอนนี้มีเป้าหมายเพื่อให้มั่นใจว่า ตัวอย่างสามารถเข้าสู่การเคลือบฝังไอออนได้อย่างปลอดภัยและมีประสิทธิภาพ

⚠️ ข้อควรระวังในการเตรียมตัวอย่าง

ก่อนเข้าสู่กระบวนการฝังไอออน

✅ สิ่งที่ควรปฏิบัติ

• หลีกเลี่ยงการสัมผัสตัวอย่างด้วยมือเปล่า เพื่อป้องกัน การปนเปื้อนจากน้ำมันหรือสิ่งสกปรก
  
• ควรเตรียมและจัดเก็บตัวอย่างในที่แห้ง หลีกเลี่ยง ความชื้นสูง ซึ่งอาจส่งผลต่อคุณภาพของการฝังไอออนและกระบวนการสุญญากาศ

❌ ตัวอย่างที่ไม่เหมาะสมในการใช้งาน

• วัสดุฟุ้งกระจายง่าย   เช่น ผงละเอียด เส้นใย หรือวัสดุเนื้อเบา อาจหลุดลอยหรือเคลื่อนที่เมื่ออยู่ในสภาวะสุญญากาศ ส่งผลให้ไม่สามารถควบคุมตำแหน่งหรือเกิดความเสียหายต่อเครื่องได้

• วัสดุที่ระเหยง่าย หรือมีองค์ประกอบไวต่อปฏิกิริยา   อาจทำปฏิกิริยากับลำไอออนหรืออุปกรณ์ภายในเครื่องเร่ง อาจเกิดการสะสม คราบ หรือทำให้คุณภาพการทดลองลดลง

• วัสดุที่มีความชื้นสูง   ความชื้นอาจทำให้เกิดการระเหยภายใต้สุญญากาศ ส่งผลต่อเสถียรภาพของระบบ และอาจรบกวนกระบวนการฝังไอออน

• วัสดุที่ไม่สามารถยึดติดกับ Sample Holder ได้ดี   เช่น วัสดุรูปร่างไม่แน่นอน ขนาดเล็กมาก หรือไม่มีผิวสัมผัสเพียงพอสำหรับยึดเกาะ อาจหลุดหรือเคลื่อนระหว่างกระบวนการ

อัตราค่าบริการเครื่องไอออนอิมพลานเตอร์แบบกะทัดรัดแนวตั้ง

ใบขอรับบริการ เครื่องไอออนอิมพลานเตอร์แบบกะทัดรัดแนวตั้ง Download ที่นี่

ระบบจองคิวขอรับบริการ เครื่องไอออนอิมพลานเตอร์แบบกะทัดรัดแนวตั้ง <<ที่นี่>>

ข้อมูลการติดต่อเจ้าหน้าที่เทคนิคของเครื่อง

1. ผศ. ดร.อุดมรัตน์ ทิพวรรณ
   Email : udomrat.t@cmu.ac.th
2. รุ่งโรจน์ รุ่งรัตน์
   Email : rungroj@thep-center.org

ที่อยู่: อาคารเทคโนโลยีไอออนบีม 2 ภาควิชาฟิสิกส์และวัสดุศาสตร์ มหาวิทยาลัยเชียงใหม่ ถ.ห้วยแก้ว ต.สุเทพ อ.เมือง จ.เชียงใหม่ 50202